Zargarlik buyumlari uchun PVD qoplama mashinasi

Qattiq plyonka cho'kishi - bir necha nanometrdan taxminan 100 mikrometrgacha bo'lgan yoki bir necha atom qalinligi bo'lgan juda nozik material plyonkasini qoplanadigan "substrat" ​​yuzasiga yoki hosil qilish uchun avval qo'yilgan qoplamaga qo'llash texnologiyasi. qatlamlar. Yupqa qatlamli qatlamlarni ishlab chiqarish jarayonlari bugungi yarimo'tkazgich sanoati, quyosh panellari, kompakt disklar, disklar va optik qurilmalar sanoatining markazidir.

Yupqa plyonkali cho'kma odatda ikkita keng toifaga bo'linadi - Kimyoviy yotqizish va jismoniy bug 'yotqizish qoplama tizimlari.

Vakuumli pechning magnetronli püskürtme turlarining ko'p turlari mavjud. Ularning har biri turli xil ish printsiplari va qo'llash ob'ektlariga ega. Ammo ularda bitta umumiy narsa bor: magnit maydon va elektronlar o'rtasidagi o'zaro ta'sir elektronlarning maqsadli sirt atrofida spiral aylanishiga olib keladi va shu bilan argon gazining ionlarni hosil qilish uchun elektronlanishi ehtimolini oshiradi. Hosil bo'lgan ionlar elektr maydoni ta'sirida nishon yuzasiga tegib, nishonni sochadi. So'nggi o'n yilliklarning rivojlanishida doimiy magnitlar asta-sekin qabul qilindi va lasan magnitlari kamdan-kam qo'llaniladi.

Maqsadli manba muvozanatli va muvozanatsiz turlarga bo'linadi. Balanslangan maqsadli manba bir xil qoplamaga ega va muvozanatsiz maqsadli manba qoplamasi substrat bilan kuchli bog'lash kuchiga ega. Balanslangan maqsadli manbalar asosan yarimo'tkazgichli optik plyonkalar uchun ishlatiladi va muvozanatsiz maqsadlar ko'pincha dekorativ plyonkalar uchun ishlatiladi.

Balans yoki muvozanatdan qat'i nazar, agar magnit harakatsiz bo'lsa, uning magnit maydonining xususiyatlari umumiy maqsadli foydalanish darajasi 30 foizdan kam ekanligini aniqlaydi. Maqsadli materialdan foydalanish tezligini oshirish uchun aylanadigan magnit maydondan foydalanish mumkin. Ammo magnit maydonni aylantirish aylanish mexanizmini talab qiladi va shu bilan birga chayqalish tezligi kamayadi. Aylanadigan magnit maydonlar asosan katta yoki qimmat maqsadlar uchun ishlatiladi. Masalan, yarimo'tkazgich plyonkalarining sochilishi. Kichik uskunalar va umumiy sanoat uskunalari uchun magnit maydonning statik maqsadli manbai ko'pincha ishlatiladi.

Vakuumli pechda magnetronli maqsadli manba bilan metallar va qotishmalarni purkash oson, yondirish va chayqash juda qulay. Buning sababi shundaki, maqsad (katod), plazma va purkalgan qism/vakuum kamerasi halqa hosil qilishi mumkin. Ammo keramika kabi izolyatorlarning püskürtülmesi, kontaktlarning zanglashiga olib keladi. Shunday qilib, odamlar yuqori chastotali quvvat manbaidan foydalanadilar va pastadirga kuchli kondansatör qo'shadilar. Shunday qilib, maqsadli material izolyatsion kontaktlarning zanglashiga olib keladigan kondansatkichga aylanadi. Biroq, yuqori chastotali magnetronli püskürtme quvvat manbai qimmat, püskürtme tezligi juda kichik va topraklama texnologiyasi juda murakkab, shuning uchun uni keng miqyosda ishlatish qiyin. Ushbu muammoni hal qilish uchun magnetronli reaktiv püskürtme ixtiro qilindi. Ya'ni, metall nishondan foydalanish, argon va azot yoki kislorod kabi reaktiv gazni qo'shish. Metall nishonga tegsa, u reaktiv gaz bilan birlashib, energiya konvertatsiyasi tufayli nitridlar yoki oksidlarni hosil qiladi.

Ilova

   Parametr

Bizning kompaniyamiz

Issiq teglar: zargarlik buyumlari pvd qoplama mashinasi, Xitoy, etkazib beruvchilar, ishlab chiqaruvchilar, zavod, moslashtirilgan, sotib olish, narx, kotirovka