PVD oltin qoplama mashinasi

Izolyatorlarning magnetron reaktiv püskürtülmesi oson ko'rinadi, lekin amalda ishlash qiyin.Asosiy muammo shundaki, reaktsiya nafaqat qismning yuzasida, balki anodda, vakuum kamerasi yuzasida va sirtda ham sodir bo'ladi. maqsadli manba. Shunday qilib, yong'inni o'chirish, maqsadli manba va ishlov beriladigan qismning sirt yoyi va boshqalar. Germaniyada Leybold tomonidan ixtiro qilingan egizak maqsadli manba texnologiyasi bu muammoni juda yaxshi hal qiladi. Printsip shundan iboratki, bir juft maqsadli manbalar bir-birining katodi va anodidir va shu bilan anod yuzasining oksidlanishi yoki nitridlanishini yo'q qiladi.

Sovutish barcha manbalar uchun zarur (magnetron, ko'p yoy, ionlar), chunki energiyaning katta qismi issiqlikka aylanadi. Agar sovutish bo'lmasa yoki etarli darajada sovutish bo'lmasa, bu issiqlik maqsadli manba haroratini 1,{2}} darajadan oshib ketishiga olib keladi va butun maqsadli manbani eritib yuboradi. .

Magnitron uskunasi ko'pincha juda qimmat, lekin vakuum pompasi, MFC, plyonka qalinligi o'lchovi kabi boshqa uskunalarga pul sarflash va maqsadli manbani e'tiborsiz qoldirish oson. Magnitronli püskürtme uskunasi yaxshi maqsadli manbasiz qanchalik yaxshi bo'lmasin, bu yakuniy tegmasdan ajdarni chizishga o'xshaydi.

Oraliq chastotali chayqalishdan foydalanishning afzalligi shundaki, u silliq va zich bo'lishi mumkin.Plenka qatlamining qattiqligi yuqori. Film qalinligi chiziqli ravishda o'sishi mumkin. Zaharlanish yo'q. Vakuumli pechning ko'p yoyli chayqalishi materialni (ijobiy zaryadlangan zarralar) ionlashtirish uchun nishonga kichik kuchlanish va katta oqimni qo'llaydi, shu bilan substratga (salbiy zaryadlangan) yuqori tezlikda va cho'kma bilan uriladi, zich plyonka va qattiq plyonka hosil qiladi. . Asosan aşınmaya va korroziyaga chidamli plyonkalar uchun ishlatiladi. Kamchilik shundaki, ijobiy va salbiy elektr toki urishi notekis plyonka, teshiklar va ablasyonga olib keladi.

Oraliq chastotali chayqalish printsipi umumiy to'g'ridan-to'g'ri purkash printsipi bilan bir xil. Farqi shundaki, doimiy to'lqinli püskürtme silindrni anod sifatida ishlatadi, oraliq chastotali püskürtme esa juftlashgan. Tsilindrning ishtirok etishi umumiy dizaynga va butun tizimga bog'liq bo'lishi kerak, püskürtme jarayonida anod va katodning joylashishi bog'liq va nisbatlar aylanishida ishtirok etishning ko'plab usullari mavjud. Turli xil usullar har xil purkash rentabelligini va har xil ion zichligini olishi mumkin. Oraliq chastotali chayqalishning asosiy texnologiyasi quvvat manbaini loyihalash va qo'llashda yotadi. Hozirgi vaqtda sinus to'lqin va impuls kvadrat to'lqinini chiqarishning ikkita usuli ancha etuk. Har birining o'ziga xos afzalliklari va kamchiliklari bor. Birinchidan, biz plyonka turini ko'rib chiqishimiz kerak va qaysi quvvat chiqarish usuli qaysi filmga mos kelishini tahlil qilishimiz kerak. Kerakli chiqishni olish uchun siz quvvat manbai xususiyatlaridan foydalanishingiz mumkin. kino effekti.

Ilova

Parametr

Bizning kompaniyamiz

Issiq teglar: pvd oltin qoplama mashinasi, Xitoy, etkazib beruvchilar, ishlab chiqaruvchilar, zavod, moslashtirilgan, sotib olish, narx, kotirovka