Zamonaviy vakuumli qoplama mashinasining plyonka qalinligini o'lchash va monitoring qilish usuli

Eng to'g'ridan-to'g'ri qoplamani nazorat qilish usuli - bu bug'lanish manbasini to'g'ridan-to'g'ri boshqara oladigan va bug'lanish tezligini saqlab turish uchun PID nazorati orqali to'siqni aylantira oladigan Kvars Kristal Mikrobalans usuli (QCM). Asbob tizimni boshqarish dasturiga ulangan ekan, u butun qoplama jarayonini boshqarishi mumkin. Ammo (QCM) aniqligi cheklangan, chunki u qisman optik qalinligidan ko'ra yotqizilayotgan qoplamaning sifatini nazorat qiladi.

Bundan tashqari, QCM past haroratlarda juda barqaror bo'lsa-da, yuqori haroratlarda juda sezgir bo'ladi. Uzoq muddatli isitish vaqtida sensorning ushbu nozik hududga tushishiga yo'l qo'ymaslik qiyin, bu filmda sezilarli xatolarga olib keladi.

Optik monitoring yuqori aniqlikdagi qoplamalar uchun monitoringning afzal usuli hisoblanadi, chunki u qatlam qalinligini aniqroq nazorat qilish imkonini beradi (agar to'g'ri ishlatilsa). Aniqlikning yaxshilanishi ko'plab omillarga bog'liq, ammo eng asosiy sabab optik qalinlikni kuzatishdir.

OPTIMAL SWA-I-05 yagona to‘lqin uzunlikdagi optik monitoring tizimi plyonka qalinligi o‘zgarishiga optik javob sezgirligi nazariyasi va usulini samarali takomillashtirish uchun doktor Vang tomonidan ishlab chiqilgan ilg‘or optik monitoring dasturi bilan birgalikda bilvosita o‘lchash va nazoratni qo‘llaydi. yakuniy xatolikni kamaytirish, fikr-mulohazalarni yoki uzatish rejimlarini tanlash va monitoring to'lqin uzunliklarining keng doirasini ta'minlash. Bu, ayniqsa, tartibsiz plyonka monitoringini o'z ichiga olgan turli xil qalinlikdagi plyonkalarni monitoring qilish uchun javob beradi.