Vakuumli metalllashtiruvchi uskunalar

PVD qoplamalari xavfsizmi?

Jismoniy bug'larni cho'ktirish jarayonlari ekologik toza yoki "qoplama" usuli bo'lib, u xuddi shunday natijaga erishish uchun ishlatiladigan suyuqlik prekursorlari va kimyoviy reaktsiyalarni o'z ichiga olgan boshqa "ho'l" jarayonlarga nisbatan ishlatilishi, boshqarilishi va yo'q qilinishi kerak bo'lgan zaharli moddalar miqdorini sezilarli darajada kamaytiradi. . U juda toza, toza va bardoshli qoplamalar ishlab chiqarishga qodir bo'lganligi sababli, Jismoniy bug 'cho'ktirilishi jarrohlik va tibbiy implant sanoati uchun tanlangan texnologiyadir.

Qoplama mashinasi nima ekanligini bilasizmi? Bu, asosan, yuqori darajadagi vakuum ostida bajarilishi kerak bo'lgan qoplama turiga, shu jumladan vakuum ionining bug'lanishi, magnetronning püskürtülmesi, MBE molekulyar nur epitaksisi, PLD lazerli püskürtme cho'kishi va boshqalarni o'z ichiga oladi.

Vakuum tizimi mexanik nasos, kriyojenik nasos, qo'pol vana, old chiziq valfi, eshik valfi va vakuumni aniqlash uchun vakuum o'lchagichni o'z ichiga oladi. Magnitronni chayqash jarayonida azot, kislorod va suv bug'larining jarayonga ta'sirini minimallashtirish kerak, shuning uchun vakuum darajasi 0 dan past bo'lishi kerak.13 mPa ~ 4 Pa. Odatda Nowdry nasosi va kriogen nasos ishlatiladi. Quruq nasos past vakuumni pompalash uchun ishlatiladi. Asl mexanik yog 'nasosi bilan taqqoslaganda, u yog 'nasosidagi neft va gazning vakuum kamerasiga kirishiga, substratni ifloslanishiga va plyonka va substrat o'rtasidagi yopishqoqlikni kamaytirishga imkon beradi. Odatda, quruq nasos 6,5 Pa dan pastroq pompalangandan so'ng, eshik valfi ochiladi va kriogen nasos yuqori vakuumni pompalamak uchun ishlatiladi. Kriogen nasos yuqori nasos tezligi bilan ajralib turadi, ayniqsa suv bug'ini olib tashlash qobiliyati juda kuchli.

Olovli qoplama tizimi doimiy tok manbai, maqsadli material, sovutish suvi, doimiy magnit, taglik isitish moslamasi, to'siq, himoya qatlami va boshqalardan iborat. Bu magnetron püskürtme stantsiyasining asosiy qismidir. To'g'ridan-to'g'ri quvvat manbai 300-1 000 V lik salbiy yuqori kuchlanishni ta'minlaydi va uni nishonga qo'llaydi, shunda nishon katodda va substrat anodda bo'ladi. Sovutish suvi maqsadli materialni sovutish uchun mo'ljallangan haroratning püskürtülmesi tufayli juda tez ko'tarilishini oldini olish uchun ishlatiladi. Sovutish suvi quvur liniyasi metall quvurlardan emas, balki plastik quvurlar kabi izolyatsion materiallardan tayyorlanishi kerak. Substratni isitish moslamasi substratdagi suv bug'lari kabi aralashmalarni olib tashlashi mumkin, bu esa plyonka va substrat o'rtasidagi yopishqoqlikni yaxshilashi mumkin. Bundan tashqari, ba'zi metallar uchun mos harorat plyonka sifatini yaxshilashi mumkin.

Ilova

Parametr

Bizning kompaniyamiz

Issiq teglar: vakuumli metallizatsiya uskunalari, Xitoy, etkazib beruvchilar, ishlab chiqaruvchilar, zavod, moslashtirilgan, sotib olish, narx, kotirovka